由于其良好的耐腐蚀性，防腐真空泵可用于泵送大量腐蚀性气体，这是其他类似设备所不具备的。但由于腐蚀性气体需要经常泵送，在操作过程中可能会有一部分吸附在设备腹腔内，因此需要对设备腹腔进行清洗。
　　长期运行后，防腐真空泵内部会积聚大量的水垢或其他物质。如果只用清水的话，里面的污垢可能洗不干净，可以加一些清洁剂来清洗。一般来说可以使用硝酸或其他可溶性物质进行清洗。但使用时要注意使用稀释产品，不要使用纯度太高的产品。否则设备内部的一些附件会损坏。清洁剂可在容器中放置约一小时后释放，然后用清水冲洗。事实上这种清洗过程非常方便，所以设备可以定期维护，因为只有这样才能保护防腐真空泵，并且在运行期间可以相对稳定。
　　设备运行时，参与的媒体可能不同。因此如果在更换和运输介质之前须对参与的介质进行清洗，并且设备可以长期使用，那么日常的维护工作是需要的，所以一定要注意设备的日常维护。在清洁方面，不仅要清理外部，还要清理内部，这一点非常重要。
　　以上介绍的就是防腐真空泵腹腔的清洗过程。清洁时需要注意的是，长期使用可能会留下水垢，这也是需要清洁的。如果里面有更多的污垢，清洗时可以适当增加清洗剂的用量。